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晶圓再生3
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晶圓再生

晶圓再生是把客戶使用過後的晶圓再進行Monitor、Dammy等級的再生服務。
再生處理製程可依照客戶所要求的規格來進行最合適的處理。
例如,一般再生的方法為進行研磨處理來去除破壞層,但對於光阻的成膜測試等表面損傷較少的晶圓來說,
不使用研磨處理而使用化學再生較為有效。雖然跟研磨再生比起來,粉塵等級會比較差,
但因不會損失材料

售價 NT$ 1

再生方法
再生種類 能進行再生的膜種類 尺寸
化學再生 非貴重金屬,如金,鉑 4inch~12inch
研磨再生 非貴重金屬,如金,鉑 4inch~12inch
1527230