晶圓再生
晶圓再生是把客戶使用過後的晶圓再進行Monitor、Dammy等級的再生服務。
再生處理製程可依照客戶所要求的規格來進行最合適的處理。
例如，一般再生的方法為進行研磨處理來去除破壞層，但對於光阻的成膜測試等表面損傷較少的晶圓來說，
不使用研磨處理而使用化學再生較為有效。雖然跟研磨再生比起來，粉塵等級會比較差，
但因不會損失材料
再生方法
| 再生種類 | 能進行再生的膜種類 | 尺寸 |
|---|---|---|
| 化學再生 | 非貴重金屬，如金，鉑 | 4inch～12inch |
| 研磨再生 | 非貴重金屬，如金，鉑 | 4inch～12inch |